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新聞中心
大家好呀！
我是你們的老朋友小?！汗?jié)的喜氣還在心頭縈繞，咱們英?？稻鸵呀?jīng)整裝待發(fā)，迎來了2026年開年后di yi場(chǎng)重量級(jí)盛會(huì)——SEMICON China 2026！
3月25日-27日，小福將在上海新國(guó)際博覽中心與大家見面，一起聊聊半導(dǎo)體制造背后的“硬核黑科技"，也聊聊如何用歐洲精研的技術(shù)，護(hù)航每一顆“中國(guó)芯"的誕生。
本次SEMICON 2026，我們以 “Building Tomorrow's Smart Factory Today" 為主題，帶來從殘余氣體分析、泄漏檢測(cè)、真空測(cè)量到智能制造的全鏈路解決方案。
下面就跟著小福先睹為快吧~
作為RGA領(lǐng)域的業(yè)biao gan，英?？礣ranspector系列源自歐洲精研技術(shù)，近日在歐洲啟動(dòng)本土化生產(chǎn)——以更穩(wěn)定的供應(yīng)，為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航。
Transpector CPX
—— 極速精準(zhǔn)的“數(shù)據(jù)分析師"
專為ALD、CVD、PVD等嚴(yán)苛工藝而生，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體成分，確保每一步精準(zhǔn)無誤。相比上一代，體積減小30%，集成更輕松，操作更簡(jiǎn)便。
Transpector MPH
—— 多氣體并行監(jiān)測(cè)的“多面手"
高靈敏度殘余氣體監(jiān)測(cè)，支持多氣體并行檢測(cè)，廣泛應(yīng)用于真空工藝、薄膜沉積等場(chǎng)景，穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)工藝穩(wěn)定與質(zhì)量控制。
Transpector XPR 3+
—— 高壓環(huán)境下依然靈敏的“極限挑戰(zhàn)者"
可在20mTorr高壓環(huán)境下穩(wěn)定工作，測(cè)量速度行業(yè)。從高真空到20mTorr范圍，都能高靈敏度檢測(cè)空氣泄漏和污染。雙離子源設(shè)計(jì)延長(zhǎng)使用壽命，快速診斷讓工廠運(yùn)行更高效。
UL3000 Fab 氦氣檢漏儀
—— 移動(dòng)靈活的“檢漏專家"
專為現(xiàn)代半導(dǎo)體工廠打造，高靈敏度、快速啟動(dòng)、測(cè)試精準(zhǔn)，緊湊設(shè)計(jì)適配嚴(yán)苛空間，為高效運(yùn)轉(zhuǎn)提供可靠保障。
SMART-Spray 氦氣噴槍
—— 無線便攜的“省錢小能手"
專為UL系列設(shè)計(jì)，無線無管，單次充氦可噴超1000次，精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn)，大幅節(jié)省氦氣用量和成本。配備彩色照明顯示屏，復(fù)雜環(huán)境下操作更簡(jiǎn)便。
英?？禐榘雽?dǎo)體行業(yè)提供全系列的真空測(cè)量傳感器，覆蓋從粗真空到超高真空的廣泛量程，穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)真空壓力控制和腔室完整性，為高產(chǎn)量和高品質(zhì)打好基礎(chǔ)。
采用英?？底灾餮邪l(fā)的xParts ALD涂層技術(shù)，涂層純凈、致密、無缺陷，耐受性強(qiáng)，從容應(yīng)對(duì)腐蝕性工藝。根據(jù)不同工藝要求，提供標(biāo)準(zhǔn)、清潔與涂層三種清潔等級(jí)，在延長(zhǎng)真空計(jì)使用壽命的同時(shí)，保障工藝環(huán)境的潔凈度與穩(wěn)定性。
面向未來工廠的智能化需求，英?？堤峁┴炌ㄈ鞒痰膶?shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)管理與調(diào)度系統(tǒng)：
Factory Scheduler智能排產(chǎn)系統(tǒng)：協(xié)調(diào)設(shè)備、物料與物流，確保產(chǎn)品精準(zhǔn)流轉(zhuǎn)，消除瓶頸，減少閑置產(chǎn)能。
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