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HTC真空閥
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中國(guó)臺(tái)灣日揚(yáng)APC蝶閥的功能通常是阻絕或是調(diào)節(jié)流量, 其關(guān)閉的機(jī)構(gòu)主要為一個(gè)圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關(guān)閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
真空傳輸閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的真空閥，外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，所有動(dòng)件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕，可減少粉塵產(chǎn)生，并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無(wú)氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù)，封板快速拆裝設(shè)計(jì)易維修等優(yōu)點(diǎn)。
真空矩形閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設(shè)備，安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與制程腔室（process chamber）等需要真空與壓力分隔的地方。
HTC真空蝶閥的功能通常是阻絕或是調(diào)節(jié)流量, 其關(guān)閉的機(jī)構(gòu)主要為一個(gè)圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關(guān)閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
APC蝶閥主要應(yīng)用： 真空壓力控制和隔離閥門 應(yīng)用產(chǎn)業(yè) SEMI - 半導(dǎo)體 FPD - 光電面板 PVD - 物理氣相沉積 Solar - 太陽(yáng)能
TEL：0755-26028990
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